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分子泵有三种类型：牵引型分子泵、涡轮分子泵和复合型分子泵。按制造结构，可分为油润滑、脂润滑、磁悬浮(单磁永磁悬浮、全磁悬浮)。

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复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种：一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。

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Shimadzu TMP-803LM岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D1003M。

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